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洁净室是指对空气洁净度、温度、湿度、压差、噪声等参数都需要进行控制的密闭空间。许多精密加工行业、半导体、芯片、医学手术室、电子设备、航天、制药、生物实验室行业等都需要洁净室。比如医学行业主要是为了防止病jun、细jun、灰尘对病人手术过程中造成感染;温湿度对于精密仪器仪表产品的精确程度有很大影响。
半导体制造洁净室对温湿度的要求一般是温度处于22-28℃ ,湿度在30-50 RH(%)之间。洁净室运作过程中对相对湿度环境控制尤为常见。因为相对湿度会对洁净室总体表现下降有较大影响,比如加速细jun繁殖;人体舒适感不佳,人的汗液可能污染半导体产品;出现静电荷;加快金属fu蚀生锈;水汽冷凝污染半导体表面的清洁度;光刻的退化;影响光刻胶附着能力等。
因此,对于半导体洁净室的温湿度控制尤为重要。现在的半导体洁净室系统都会严格控制温湿度、空气洁净度和压差程度等,在室内安装不同的温湿度传感器、压差传感器等,做到实时监测、实时控制。苏州宏瑞净化研发生产的温湿度变送器传感器、手持式温湿度仪、压差计等产品应用于各种生物实验室、制药车间、洁净室的温湿度监测。
不同的洁净室对于温湿度的要求是不同的,主要是根据加工使用的产品本身的特性来考量。但是有一点,温湿度不管在任何行业,作为一个环境因素发挥着重要的影响力。我们总是运用各种手段进行温湿度数据监控,以便达到我们的理想状态。
的介绍,我司作为自主研发生产30年的生产厂家,可按10万级和100万级等洁净级别的半导体车间标准要求及国家GMP规范要求为电子、生物医药、医院手术室、光纤光缆、食品饮料、精密仪器、半导体及新材料应用等行业提供全系列的检测仪器和技术支持,如实时监测时所需的“洁净环境在线监测系统",不定时检测时的“风量罩"“压差仪"“尘埃粒子计数器"“浮游菌采样器"等。
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