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半导体洁净室温湿度监测的重要性

 发布时间:2022-11-15 点击量:127

半导体洁净室温湿度监测的重要性

洁净室是指对空气洁净度、温度、湿度、压、噪声等参数都需要进行控制的密闭空间。许多精密加工行业、半导体、芯片、医学手术室、电子设备、航天、制药、生物实验室行业等都需要洁净室。比如医学行业主要是为了防止病jun、细jun、灰尘对病人手术过程中造成感染;温湿度对于精密仪器仪表产品的精确程度有很大影响。

        半导体制造洁净室对温湿度的要求一般是温度处于22-28℃ ,湿度在30-50 RH(%)之间。洁净室运作过程中对相对湿度环境控制尤为常见。因为相对湿度会对洁净室总体表现下降有较大影响,比如加速细jun繁殖;人体舒适感不佳,人汗液可能污染半导体产品;出现静电荷;加快金属fu蚀生锈;水汽冷凝污染半导体表面的清洁度;光刻的退化;影响光刻胶附着能力等。

         因此,对于半导体洁净室的温湿度控制尤为重要。现在的半导体洁净室系统都会严格控制温湿度、空气洁净度和压程度等,在室内安装不同的温湿度传感器、压传感器等,做到实时监测、实时控制。苏州宏瑞净化研发生产的温湿度变送器传感器、手持式温湿度仪、压差计等产品应用于各种生物实验室、制药车间、洁净室的温湿度监测。

        不同的洁净室对于温湿度的要求是不同的,主要是根据加工使用的产品本身的特性来考量。但是有一点,温湿度不管在任何行业,作为一个环境因素发挥着重要的影响力。我们总是运用各种手段进行温湿度数据监控,以便达到我们的理想状态。

以上是苏州宏瑞净化科技有限公司关于关于半导体洁净室温湿度监测的重要性

的介绍我司作为自主研发生产30年的生产厂家,可按10万级和100万等洁净级别的半导体车间标准要求及国家GMP规范要求为电子、生物医药、医院手术室、光纤光缆、食品饮料、精密仪器、半导体及新材料应用等行业提供全系列的检测仪器和技术支持,如实时监测时所需的洁净环境在线监测系统",不定时检测时的风量罩"“压差仪"“尘埃粒子计数器"“浮游菌采样器"等。



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