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洁净室的静压差可以是正压或负压,洁净室的静压差检测目的在于防止室内外气流的相互影响,进而造成洁净室的污染。
ü 洁净室的静压差检测应在洁净区域内的门都已关闭的情况下进行
ü 洁净室的静压差检测应从洁净度高到低依次进行检测,一直到直通室外的房间
ü 静压差测管口设在室内没有气流影响的地方即可,保持测管口面与气流流线平行
ü 洁净室的静压差检测的数据应到1.0Pa
ü 洁净室的静压差检测仪器可采用宏瑞科技的数字差压计DP-40(测量范围从0-±125pa,0-±500pa,0-5000pa…多种量程可选),测量后应将所有数据保存完整
洁净室的静压差检测应符合以下标准:
ü 级别不同的洁净室区域与非洁净室区域之间的静压差,不小于5Pa
ü 洁净室与室外的静压差,不应小于10Pa
ü 打开空气洁净度等级高于百级的单向流洁净室门时,门内0.6米的室内工作区含尘浓度不应大于相应级别的含尘浓度限值
对于达不到以上标准的,应重新调整洁净室新风量、排风量,直到合格为止!
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