激光尘埃计数器的关键组成部分

　　激光尘埃计数器可以对各种洁净等级的工作台、净化室、净化车间的净化效果、洁净级别进行监控，以确保环境质量满足所需的要求。激光尘埃计数器的主要组成部分如下：

　　一、光源。光源有普通光源和激光光源两种，是尘埃粒子计数器的关键部件，对仪器的性能影响很大。光源要求稳定性高、寿命长、不受干扰。由于激光的单色性好，光能量集中稳定，所以采用激光光源的尘埃粒子计数器其传感器有较高的信噪比，此类仪器有些能检测到0.1CM的微粒。

　　二、测量腔。测量腔是进行微粒观测的空间，被采集的空气要从测量腔内穿过。仪器的光学系统使光源经透镜、狭缝照射到测量腔中，形成一个体积约几个立方毫米的光敏感区。当空气中的尘埃通过光敏感区时，会散射出一部分光能量，被与入射光成一角度的集光透镜收集，再投射到光检测器上。

　　三、光检测器。光检测器是将散射光能量转换为电信号的光电转换器件。激光尘埃计数器中zui常用的光检测器是光电倍增管和光电二极管。

　　四、气泵及过滤器。气泵位于仪器内部，使仪器产生采样流量。气泵要求噪音低、振动小、产生的气流稳定。过滤器应能过滤掉0.3ftm以上的微粒，以免从仪器排出的空气对洁净区产生影响。

　　五、流量监控器。目前，国产激光尘埃计数器常采用转子流量计作流量指示，仪器的流量调节大多数是直接调节转子流量计上的旋钮。进口尘埃粒子计数器通过流量传感器对流量进行监测，通过手动调节或自动反馈调节。

　　六、电路系统。不同粒径大小的粒子经尘埃粒子计数器的光电系统转换后，会产生不同幅度的电脉冲信号，粒径越大，脉冲电压越高。信号电压与粒径之间的关系，也叫转换灵敏度。对于给定的激光尘埃计数器，粒径大小与脉冲电压是相互对应的o

　　激光尘埃计数器的主要组成部分都是非常重要的，一旦发生损坏都需要立即进行维修，以保证仪器的正常使用。